연구 내용

1단계 (2000.8 - 2003.7)

제1총괄과제

제2총괄과제

제3총괄과제

2단계 (2003.8 - 2007.8)

제1총괄과제

제2총괄과제

제3총괄과제

 

연구 계획

연구 실적

 

연구내용

제3총괄 제1세부과제 (MMoF 광가입자망용 밀리미터웨이브 전자소자 기술 연구, 송종인)

MMoF용 밀리미터웨이브 전자 소자 기술 개발

(1) 1차년도

- InP계열 epi 구조 설계 기술 연구

InAlAs/InGaAs HEMT 구조 설계 및 소자 성능 시뮬레이션, InAlAs/InGaAs HEMT epi 구조 도출

- InP 계열 epi 구조 성장 연구

기초 결정성장 및 불순물 도핑 연구, 결정 구조 분석 및 전기적 특성 분석, InAlAs/InGaAs HEMT 구조 성장 및 분석

(2) 2차년도

- InP기반 밀리미터웨이브 소자 설계 기술 연구

InAlAs/InGaAs HEMT 소자 구조 설계, InAlAs/InGaAs HEMT layout 및 mask 설계

- InP기반 밀리미터웨이브 소자 제작 단위 공정 기술연구

메사 식각 공정 개발, 오믹 접촉 제작 공정 개발, 서브마이크론 게이트 형성기술 개발

(3) 3차년도

- 밀리미터웨이브 대역 소자 제작 기술 개발

서브마이크론 게이트 밀리미터웨이브 HEMT 제작

- 밀리미터웨이브 HEMT 소자 평가 기술 개발

HEMT 소자의 RF, 전력, 잡음 특성 평가

- 밀리미터웨이브 HEMT 소자의 Library 기술 개발

HEMT 소자의 RF, 전력, 잡음 특성 모델링 및 파라미터 추출

- HEMT기반 광수신기 회로 기술 연구

HEMT기반 광수신 OEIC 설계 및 제작

 

제1세부과제 (MMoF 광가입자망용 밀리미터웨이브 전자소자 기술 연구, 송종인)

제2세부과제 (MMoF용 밀리미터파 광원 기술 연구, 이종창)

제3세부과제 (MMoF 용 광전 집적회로 기술 연구, 서종욱)